Buaicphointe an Táirge: Téamh Léasair le haghaidh Annealing Wafer Leathsheoltóra

Is próiseas ríthábhachtach é annéalú vaiféir i ndéantúsaíocht leathsheoltóra, lena n-áirítear gníomhachtú dópán, athchóiriú laitíse, agus foirmiú acomhal thar a bheith éadomhain (USJ). Bíonn buiséid theirmeacha arda, scaipeadh dópán atá rialaithe go dona, agus aonfhoirmeacht neamhleor ag baint le hannéalú foirnéise traidisiúnta agus próiseáil theirmeach thapa (RTP), rud a fhágann nach bhfuil siad leordhóthanach do nóid ardteicneolaíochta ag 7 nm, 5 nm, agus níos faide anonn - go háirithe d'ailtireachtaí Geata-Uile-Amach (GAA) agus cuimhne splanc NAND 3D. Tá annéalú vaiféir bunaithe ar léasar, lena ionradaíocht ardfhuinnimh neamhbhuan, cruinneas spásúil ar scála micreon, agus scaipeadh teirmeach íosta, tagtha chun cinn mar an chéad phróiseas lárnach den chéad ghlúin eile chun na riachtanais déantúsaíochta éilitheacha seo a chomhlíonadh.

Prionsabal Lárnach Téimh Léasair

Tá dearadh optúil dílseánaigh ag ceann téimh léasair Wave Optics a sheachadann bhíomaí léasair ard-fhuinnimh, aonfhoirmeacha ó thaobh teirme de le haghaidh ionradaíocht chruinn dhromchlaí na vaiféar. Cuireann an léasar glas meaitseáil ionsúcháin den scoth ar fáil le hábhair atá bunaithe ar sileacan (lena n-áirítear SiC), rud a chuireann ar chumas cóireála teirmeach ard-éifeachtúlachta gan damáiste a dhéanamh don vaiféar. Éascaíonn sé seo athchriostalú an tsraithe damáiste atá ionchlannaithe ag ian agus gníomhachtú éifeachtach dopant. Ina dhiaidh sin, cuireann seoltacht theirmeach ard an tsubstráit fuarú thar a bheith gasta ar fáil, rud a reoiteann struchtúr an laitíse agus a chuireann cosc ​​ar scaipeadh dopant. Táirgeann an próiseas seo acomhail thar a bheith éadomhain go rathúil le héifeachtúlacht ardghníomhachtaithe agus próifíl acomhail géar (tobann) araon.

Tá Ainéalú Téimh Léasair ríthábhachtach chun Toradh Próiseála Vaiféir a Fheabhsú

1. Aonfhoirmeacht Bhíoma: Sáraíonn aonfhoirmeacht fuinnimh an phointe bhíoma barr cothrom 95% (tipiciúil), rud a chuireann deireadh le ró-leá nó tearc-annealing áitiúil.
2. Cobhsaíocht Fuinnimh: Tá luaineacht leanúnach fuinnimh aschuir faoi bhun 2%, rud a chinntíonn comhsheasmhacht den scoth ó shliabhán go slibhéar agus ó bhaisc go baisc.
3. Beachtas Fíor Dromchla: Tá luachanna PV/RMS ar scála nanaiméadar ag comhpháirteanna optúla le saobhadh tonnfhaid dea-rialaithe, rud a chuireann cosc ​​ar dhamáiste ó spotaí te.
4. Doimhneacht Fócais agus Múnlú Bhíoma: Tacaíonn doimhneacht fócais inoiriúnaithe in éineacht le homaiginiú comhtháthaitheora bhíoma le scanadh iomlán réimse ar sceallóga móra trastomhais.
5. Meaitseáil Tonnfhaid: Optamaithe do bhandaí tonnfhaid ard-ionsúcháin sileacain agus leathsheoltóirí tríú glúin (m.sh., SiC, GaN) chun éifeachtúlacht úsáide fuinnimh a uasmhéadú.

Trí Phríomhbhuntáiste thar Ainéalú Traidisiúnta

1. Cosc den scoth ar scaipeadh dópálaithe - Tá nochtadh teirmeach teoranta don raon nana-soicind go milleasoicind le scaipeadh dópálaithe beagnach nialasach, cumas nach féidir a bhaint amach trí annealing foirnéise nó RTP.

2. Buiséad teirmeach íseal agus damáiste íosta don fheiste - Ní bhíonn teochtaí arda neamhbhuana ach ar dhromchla an tsaiféir, rud a fhágann nach mbíonn aon dífhoirmiú teirmeach ar an tsubstráit ná ar struchtúir an fheiste agus nach mbíonn aon dhíghrádú comhéadain ann.

3. Annéalú limistéar roghnach beacht - Tacaíonn spotaí bhíoma ar scála micreon inchoigeartaithe le hannéalú áitiúil le haghaidh comhtháthú 3T agus gléasanna comhtháite ilchineálacha.

Cásanna Iarratais

I measc na bhfeidhmeanna tá gníomhachtú foinse/draein, deisiú cainéal, agus annéalú teagmhála óimeach le haghaidh loighic ardleibhéil (GAA/CFET), DRAM/3D NAND, gléasanna cumhachta SiC/GaN, SOI, agus gléasanna micrea/nana. Tugann annéalú léasair feabhsuithe comhuaineacha ar tháirgeacht agus ar fheidhmíocht gléasanna.

Aistríonn annéalú léasair próiseáil vaiféil ó annéalú domhanda (blaincéad) go annéalú áitiúil beacht. Tacaíonn a theicneolaíocht optúil chumhachtach le scálú leanúnach agus dul chun cinn feidhmíochta nóid leathsheoltóra chun cinn.

Bileog Sonraíochta Táirge